光催化氧化法是近年來發展起來處理惡臭的新方法，其技術機理是光催化劑(如TiO2)在紫外線的照射下被激活，吸收光能并將其轉化為化學能，使H2O生成OH自由基，然后OH自由基將有機污染物氧化成無臭、無害的產物(如CO2和H20)%。日本是首個將光催化技術用于惡臭研究的國家，我國和美國也在其后開展了光催化技術在環境污染物降解中的研究。國外一些學者通過采用TIOz對有機污染物進行光催化降解時取得了良好的效果，如采用TO2對苯、乙苯、鄰二甲苯、問二甲苯、對二甲某5種污染物在空氣濕度范圍內進行光催化氧化，其降解率接近99%。

除了使用TiOz作為光催化劑之外，還可以在其中添加金屬氧化物以提高對臭氣的凈化率，組成為90% TiO2+ 10%金屬氧化物的光催化劑對低濃度(室內空氣)的H2S和CO2凈化率分別可達97%和99%以上，能夠有效的消除NO2、NH3。另外也有采用在TiO2上負載稀土元素或貴重金屬及其氧化物等方式來改善其催化活性，提高光催化效率。TiO2光催化技術對惡臭的降解能耗低、易操作,安全、清潔，加上TIO2化學穩定性強、無毒等優點，另外在惡臭降解過程中，光催化劑并不消耗，是一種理想的光催化材料，因此它是一項具有廣泛應用前景的脫臭新技術。

開發量子化效率高的光催化劑，提高催化劑的催化活性和選擇性、增大催化劑表面積、提高光催化劑的固化性能、拓寬光催化激發波長等，必將成為光催化領域的發展方向。